试剂电子级是什么?
电子化学试剂按照纯度分为UP—S级、UP级、EL级三个等级.UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMIC8标准.UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤,控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMIC7标准EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMIC1C2标准,适合中小规模......