半导体工艺的最小线宽一般是指栅的宽度。

　　工艺制程反应半导体制造技术先进性，目前能够量产的最先进工艺是台积电的 5nm，国内半导体代工厂最新先进的是中芯国际的 14nm。此处的 14nm、5nm 是指芯片内部的晶体管的栅长，通俗讲就是芯片内部的最小线宽。

　　一般情况下，工艺制程越先进，芯片的性能越高，特别是数字电路。