MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料，因此从制造技术本身来讲，MEMS中基本的制造技术是成熟的。但MEMS更侧重于超精密机械加工，并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。微机电系统的优点是：体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等。

　　MENS技术使用的为微安级电流，与传统的电疗法相比，微安级电流更低更加安全。