28nm

　　2023年4月，国产光刻机厂商上海微电子宣布，将在之前90nm的基础上，量产28nm光刻机，在2023年交付国产第一台SSA/800-10W光刻机设备。

　　24纳米以上。光刻机制造技术是工业明珠上的皇冠，制造极其复杂，科技含量极高。因受到西方限制，近年来我国国产光刻机发展迅猛。

　　可以量产90nm吧

　　这个问题比较敏感，大家都是说的多做的少，有的说可以量产9nm，有的说可以量产18nm，具体是没有官方的数据，所以很难说。

　　目前国内有一些公司正在研发和生产高端光刻机，并计划在2023年左右进入量产阶段。然而，光刻技术的发展是一个持续不断的过程，受到技术、材料、设备和市场等多种因素的影响。因此，无法确定到2023年国产光刻机可以量产多少纳米级别的芯片。一般来说，随着技术的不断进步，光刻机将可以实现更小尺寸的芯片制造，但具体取决于技术发展的速度和牵涉到的投资、人力资源等等。