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集成电路五大工艺?

作者:五金加工
文章来源:本站

  主要分以下几个工序:

  前工序

  图形转换技术:主要包括光刻、刻蚀等技术;

  薄膜制备技术:主要包括外延、氧化、化学气相淀积、物理气相淀积(如溅射、蒸发) 等;

  掺杂技术:主要包括扩散和离子注入等技术。

  

集成电路五大工艺?

  后工序

  划片;封装;测试;老化;筛选。

  辅助工序

  超净厂房技术;超纯水、高纯气体制备技术;光刻掩膜版制备技术;材料准备技术

  

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