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硅片是怎样制成集成电路的呢?

作者:五金加工
文章来源:本站

  以TTL系列集成电路为例,从硅片到集成电路的工艺流程:从单晶硅上切割下来的硅片——磨光——抛光——氧化——光刻——埋层扩散——外延——氧化——光刻——隔离扩散——氧化——光刻——基区扩散——氧化——光刻——发射区扩散——真空镀铝——光刻——烧结(形成欧姆接触)——初测 至此前道工序就算完成了。

  后部工序:划片——烧结基座——键合——中测——包封——老化——测试——打印(激光或丝印)

  

硅片是怎样制成集成电路的呢?

  

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