区别是一个是芯片设计软件，一个是芯片制造设备。

　　首先要纠正没有eua光刻机，那叫euv光刻机，是目前全球最高端光刻机。eda指的是电子设计自动化，也是指设计集成电路、芯片等一类的工业软件，是设计软工具。而euv光刻机是硬件，是制造芯片的光电设备。eda和euv光刻机的最大区别是软件和硬件设备的区别。