差距比较远，光源相差一代。

　　90nm光刻机距离7nm还比较远，至少在光源技术上低了一代。9nm光刻机采用的是深紫外光光源，大致是激光轰击汞灯产生193nm的光源，再通过纯化水介质及镜头组技术压缩到90nm。而所谓7nm实际上是13.5nm极紫外光光源，是用激光轰击锡滴微粒制造出极紫外光，目前这种锡滴发生器只有美国一家公司能够制造，难度非常高。所以90nm和7nm不仅是光源波长不同，在光源产生的方式上及技术难度上相差也很远。