cmos是谁最先发明的?荷兰的光刻机是谁发明的?
cmos是谁最先发明的?
1963年,仙童半导体(Fairchild Semiconductor)的Frank Wanlass发明了CMOS电路。到了1968年,美国无线电公司(RCA)一个由亚伯·梅德温(Albert Medwin)领导的研究团队成功研发出第一个CMOS集成电路(Integrated Circuit)。
荷兰的光刻机是谁发明的?
尼埃普斯
1822年法国人Nicephore niepce(尼埃普斯)发明了光刻机,起初是Nicephore niepce发现了一种能够刻在油纸上的印痕,当其出现在了玻璃片上后,经过一段时间的暴晒,透光的部分就会变得很硬,但是在不透光的部分可以用松香和植物油将其洗掉。
1947年12月,大名鼎鼎的美国贝尔实验室的肖克利(“晶体管之父”)、巴丁和布拉顿共同研制出了一种点接触型的锗晶体管!(三人因此获得了1956年的诺贝尔物理学奖)
自此以后,光刻技术才有了发展的契机!
……
1958年,德州仪器的杰克·基尔比(集成电路的两位发明人之一)提出并发明了锗基底扩散工艺的集成电路!(2000年,杰克·基尔比因集成电路的发明被授予诺贝尔物理学奖,这是一个“迟到”了42年的诺贝尔物理学奖)
如果没有杰克·基尔比,就很难有如今的半导体产业盛况,电脑、手机等电子产品不知道牛年马月才能进入每一个家庭!
1959年,仙童半导体的罗伯特·诺伊斯(英特尔创始人之一)发明了硅基底平面工艺的集成电路!
由于硅集成电路变成了集成电路市场的主流,罗伯特·诺伊斯与杰克·基尔比,一起被誉为“集成电路之父”!
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1956年,美国贝尔实验室用晶体管代替电子管,制成了世界上第一台全晶体管计算机!
随后,仙童半导体研制出了世界上第一个适用单结构硅晶片。
20世纪60年代,仙童半导体提出了CMOS IC(集成电路)制造工艺;
IBM研制出了第一台IC(集成电路)计算机IBM360;
美国GCA公司(美国地球物理学公司)开发出了光学图形发生器和分布重复精缩机!
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20世纪70年代,GCA开发出第一台分布重复投影曝光机(光刻机)!
20世纪80年代,SVGL(美国硅谷集团光刻系统公司)开发出了第一代步进扫描投影曝光机(光刻机)!
1995年,日本佳能Cano研制出了300mm晶圆曝光机(光刻机)!
随后,阿斯麦ASML推出步进扫描曝光机(光刻机),采用的是193nm的波长!
2012年,为了推进EUV极紫外光刻机等先进设备的研制,阿斯麦ASML推出了“客户联合投资专案”,英特尔、台积电、三星成为了股东,分别持有15%、5%、3%左右的股权!
荷兰芯片光刻机制造商阿斯麦(ASML)的两位专家,Erik Loopstra 和俄罗斯裔荷兰人Vadim Banine