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芯片化学试剂有几种?

作者:五金加工
文章来源:本站

  芯片制造所需要用到的材料包括固态(如硅片、抛光垫等)、湿电子化学品(各种高纯试剂、光刻胶、抛光液等)、高纯气体(通用气体和特种气体,完成离子注入、CVD、蚀刻等)

  

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