通过公开消息查证，大族激光在2022年5月承认正在研发光刻机，今年1月9日，有投资者询问大族激光是否考虑研发光刻机，大族激光董秘表示，“公司研发的光刻机项目分辨率3-5μm(微米)，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，已实现小批量销售。”