掩模版和标线版的相同和不同之处各是什么？掩膜版对准标记
掩膜版主要用于极紫外光刻机也就是EUV光刻机
标线板主要用于深紫外光刻机也就是DUV光刻机
相同之处就是两者都是用于芯片制造，不同之处是EUV用的掩膜版要比DUV用的标线板精度要求高太多
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掩膜版主要用于极紫外光刻机也就是EUV光刻机
标线板主要用于深紫外光刻机也就是DUV光刻机
相同之处就是两者都是用于芯片制造，不同之处是EUV用的掩膜版要比DUV用的标线板精度要求高太多
