几何形状误差是属于单一的,经常的不重复的实际表面对于几何表面的误差.形状误差是指被测实际要素对理想要素的变动量而理想要素的位置应符合最小条件.形状误差分为直线度、平面度、圆度、圆柱度、线轮廓度、面轮廓度6类其中前3类最常见.

　　精度（Accuracy）:它指零部件的实际几何形体与理想几何形体相接近的程度，包括尺寸、形状、相互位置的精度。几何量的加工误差：尺寸误差、形状误差、位置误差、表面粗糙度、表面波纹度。

　　(1)尺寸误差(Size error):加工后零件的实际尺寸与理想尺寸的差值。如直径误差、长度误差等。

　　(2) 形状误差(Form Error)加工后零件的实际表面形状对其理想形状的偏离量。

　　形状误差是从整体形状看待在形状方面存在的误差，又称为宏观几何形状误差。如圆度、直线度。

　　(3) 位置误差(Position Error)加工后零件的实际位置对其理想位置的偏离量。

　　例如同轴度、垂直度。

　　(4) 表面粗糙度(Surface Roughness) 零件加工表面上具有较小间距和峰谷所形成的微量高低不平的痕迹。

　　特点是具有微小的波形，称为微观几何形状误差—微观高低不平的微波形。

　　（5）表面波纹度：介于宏观和微观几何形状误差之间的一种表面形状误差。特点是峰谷和间距要比表面粗糙度大得多，并且在零件表面呈周期性变化。