手机行业当中，苹果的iPhone 12系列及华为的Mate40系列都用上了5nm工艺,A14、麒麟9000是台积电5nm工艺最早的两个产品之一,接下来三星、联发科的5nm旗舰芯片也快了。为了保持优势、继续带动中国高端半导体设备行业高速发展，中微半导体在成功研发出5nm蚀刻机之后，立即开始了3nm蚀刻机设备的研发制造。