是一种集合了数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、机械、自动化、软件、图像识别领域顶尖技术的产物。

　　它的工作原理说起来不复杂，就是用"紫外线"对晶圆进行雕刻，在硅片上雕刻出设计好的电路图。

　　现在最先进的EUV光刻机制程是7nm，这相当于一根头发的万分之一。由于要达到这样的雕刻精度，在雕刻的过程中晶圆需要被快速移动，每次移动10厘米，过程中误差要控制在纳米级别。