蚀刻均匀性标准计算方法?
1、电镀控制:夹板方式,考虑电流的均匀性;电镀时使用假阴极,减少边缘效应;
2、蚀刻:调整喷头压力,提高药水浓度;
3、排版:留边
一般可使用CV(变异系数)=sigma/average*100%
一般均匀性80%,CV都在15%以下,均匀性90% ,CV都在10%。
在计算刻蚀均匀性的时候 刻蚀均匀性=(最大值-最小值)/2平均值
一般对刻蚀的均匀性有个要求比如±3%或者±5%
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